納米級氣浮定位運動系統(tǒng)
納米級氣浮定位運動系統(tǒng)

氣浮定位運動裝置以大理石平臺為基座， 運用氣浮導(dǎo)軌和電機控制技術(shù)， 配合激光干涉儀最大測量范圍可達(dá)到 0-5m（任意長度可定制），在慢速運動情況下定位精度可達(dá)到 10nm,廣泛應(yīng)用于國防航天行業(yè)的產(chǎn)品檢測。當(dāng)定位精度在 2μm 情況下用直線電機控制氣浮運動，最大速度可達(dá)到 5m/s，配備相應(yīng)測量軟件對機器進行控制，測量方便，用途廣泛。

  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 適用范圍
  • 產(chǎn)品描述
  • 參數(shù)配置

技術(shù)特點

●導(dǎo)軌面間是氣體潤滑，因此摩擦系數(shù)極小。

●導(dǎo)軌磨損極小，儀器使用壽命長，能長期保證系統(tǒng)精度。

●氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌運動精度。

●氣膜厚度幾乎不受速度影響，即使在極低速時也不會產(chǎn)生爬行，運動平穩(wěn)。

●幾乎不產(chǎn)生熱量，不會發(fā)生粘度變化，無需添加冷卻措施。

野齒儀器-納米級氣浮定位運動系統(tǒng)

野齒儀器-納米級氣浮定位運動系統(tǒng)


型號
納米級氣浮定位運動系統(tǒng)
測量方式
直接測量
測量范圍mm0-5000（定制任意長度）
測量精度μm慢速運動：0.5+L(mm)/500
測量精度μm快速運動：2+L(mm)/500
分辨率μm0.1
測量系統(tǒng)
采用雷尼紹高精度光柵尺
運動速度
最高可達(dá)5m/s
環(huán)境要求
溫度20±2℃；濕度50%±5%；
氣源壓力
0.4 - 0.6 Mpa


氣浮定位運動裝置以大理石平臺為基座， 運用氣浮導(dǎo)軌和電機控制技術(shù)， 配合激光干涉儀最大測量范圍可達(dá)到 0-5m（任意長度可定制），在慢速運動情況下定位精度可達(dá)到 10nm,廣泛應(yīng)用于國防航天行業(yè)的產(chǎn)品檢測。當(dāng)定位精度在 2μm 情況下用直線電機控制氣浮運動，最大速度可達(dá)到 5m/s，配備相應(yīng)測量軟件對機器進行控制，測量方便，用途廣泛。

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